麻将胡了2(以下简称麻将胡了2上海)(科创板股票代码:688082),一家为半导体前路和先进晶圆级封装(WLP)利用提供晶圆工艺解决规划的卓越设备供给商,于今日颁发其已接到29台Ultra C wb槽式湿法洗濯设备的批量采购订单,该设备可利用于加工300mm晶圆,其中16台设备的反复订单来自统一家中国国内代工厂,反复订单的主张是支持该工厂的扩产。这批设备打算从2022年起头分两个阶段发货。
Ultra C wb槽式湿法洗濯设备的重要洗濯利用蕴含炉管前洗濯、RCA洗濯、光阻去除、氧化层刻蚀、氮化硅去除,以及晶圆回收工艺中前段FEOL多晶硅/氧化硅层剥离去除,和后段BEOL金属层剥离去除D芄慌渲枚懒⒌亩嘀只б合村∕CR)?,按分歧的工艺组合在该?橹兴炒问褂枚嘀窒村┮,如SC1、SC2、DHF、DIO3、DIW等。洗濯成效好,预防交叉传染,成本低。Ultra C wb槽式湿法洗濯设备有效利用化学药液和去离子水(DIW),环境敦睦。且凭借其精彩的?榛杓,占用空间幼的利益,能够在出产车间矫捷配置。